為了保證順利完成我所繁重的工程芯片研制任務(wù)以及發(fā)生意外情況下的工藝質(zhì)量和人身、設(shè)備安全,在紅外器件室主任李向陽研究員的大力倡導(dǎo)和支持下,從本月起紅外器件室在薄膜課題組已開始試行輪崗培訓(xùn),整個輪崗培訓(xùn)至11月底結(jié)束,共3個月的時間。
目前,紅外器件室薄膜課題組共有6人,管理了包括熱/電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子束刻蝕和鍍膜、ICP-CVD(感應(yīng)耦合等離子體-化學(xué)氣相沉積)四大類真空設(shè)備以及退火爐、臺階儀、橢圓偏振儀和LBIC(激光束誘導(dǎo)電流)等多種薄膜用輔助儀器?,F(xiàn)在組內(nèi)長期的組織和管理模式為一人負(fù)責(zé)一種設(shè)備或者工藝,這樣的優(yōu)點(diǎn)是一個人相對于一種工藝較為熟悉,也可以開展較為深入的研究,但如果遇到該設(shè)備負(fù)責(zé)人出差或者發(fā)生意外不能到崗的情況下,就會拖延芯片的流程和任務(wù)完成的進(jìn)度,即使有人可以臨時頂替也很難保證所生長的薄膜質(zhì)量符合質(zhì)量要求,所以下半年在薄膜組試行輪崗培訓(xùn),對每類設(shè)備(或工藝)進(jìn)行為期3周的培訓(xùn),然后輪換。
通過此次輪崗培訓(xùn),希望能實(shí)現(xiàn)以下幾個目標(biāo):
1、每個組員熟悉組內(nèi)各類別的薄膜設(shè)備(包括生長原理、真空構(gòu)成和操作規(guī)范等);
2、明確每臺設(shè)備的負(fù)責(zé)人和第2負(fù)責(zé)人的職責(zé)。第2負(fù)責(zé)人要在設(shè)備負(fù)責(zé)人不能到崗的情況下,能獨(dú)立的完成該設(shè)備工藝的工程芯片流片任務(wù);
3、促進(jìn)完善設(shè)備操作規(guī)范和工藝卡的完善,加強(qiáng)質(zhì)量管理;
4、在培訓(xùn)過程中,能發(fā)現(xiàn)組內(nèi)其他的工藝和設(shè)備的不足之處,并提出一定的改進(jìn)意見或措施。
附件下載: