1月9日，上海技物所新年首期學(xué)術(shù)沙龍成功舉行。本期沙龍圍繞國家自然科學(xué)基金委國家重大科研儀器研制項(xiàng)目（部門推薦）“面向紅外芯片的光譜與界面功能關(guān)系研究的多尺度表征系統(tǒng)”，重點(diǎn)針對探測器制備工藝中的關(guān)鍵技術(shù)展開深入研討?；顒?dòng)由所學(xué)術(shù)委員會副主任夏項(xiàng)團(tuán)研究員主持，中國科學(xué)院院士匡定波，項(xiàng)目子系統(tǒng)負(fù)責(zé)人喬輝、徐國慶、王仍、儲開慧、蘭添翼等以及各部門職工、研究生代表參加。

喬輝研究員作了題為《可避免氧化的碲鎘汞探測器工藝》的報(bào)告。他系統(tǒng)介紹了基于四大子系統(tǒng)構(gòu)建的全流程無氧工藝方案，該工藝可有效抑制氧化、提升器件性能一致性，并實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵工序的自動(dòng)化操作。報(bào)告分享了項(xiàng)目最新進(jìn)展與實(shí)驗(yàn)細(xì)節(jié)，現(xiàn)場交流熱烈，討論氛圍活躍。

紅外器件室許金通研究員表示：“在無氧環(huán)境下直接沉積鈍化膜，有望顯著降低表面態(tài)和界面電荷，這對提升芯片良率具有重要意義?！奔t外科學(xué)與技術(shù)實(shí)驗(yàn)室李天信研究員指出：“‘三無’工藝——無水、無氧、無人干預(yù)，為碲鎘汞材料處理提供了新思路，其實(shí)際效果有待通過實(shí)驗(yàn)進(jìn)一步驗(yàn)證。”組件室李淘研究員從跨領(lǐng)域協(xié)作角度提出，可依托項(xiàng)目已建成的高分辨紅外顯微表征系統(tǒng)，結(jié)合延伸波長外延片開展界面表征實(shí)驗(yàn)，直觀解析材料界面行為與位錯(cuò)效應(yīng)。

匡定波院士在總結(jié)中講到，探測器制備工藝是提升紅外芯片性能的核心環(huán)節(jié)，尤其在氧化控制與無氧工藝方面仍具有深入探索的空間。他鼓勵(lì)科研人員發(fā)揚(yáng)鉆研精神，聚焦關(guān)鍵細(xì)節(jié)持續(xù)突破，并對項(xiàng)目后續(xù)進(jìn)展寄予厚望。

上海技物所學(xué)術(shù)沙龍已成功舉辦668期。本期沙龍立足重大儀器研制任務(wù)，聚焦實(shí)驗(yàn)技術(shù)難點(diǎn)與前沿挑戰(zhàn)，通過務(wù)實(shí)深入的交流，為后續(xù)技術(shù)集成與項(xiàng)目推進(jìn)提供了有益借鑒與創(chuàng)新活力。

供稿：楊天杭

編輯：虞慧嫻