中新網上海1月25日電 (鄭瑩瑩)微電子器件(簡稱:微器件)“潛伏”在人們日常生活中,比如一部普通手機的CPU(中央處理器)里有多達百億個晶體管(微器件的一種)。據來自中國科學院上海技術物理研究所的消息,該所的王建祿研究員等人,通過新型制備方法,能按需定制微器件,有望加速未來的新型半導體材料的應用。相關成果于北京時間25日在線發(fā)表于國際期刊NatureElectronics(《自然·電子學》)。
王建祿研究員在上海接受媒體采訪時介紹,傳統(tǒng)的半導體微器件工藝過程十分繁瑣復雜,例如,要通過幾百道甚至上千道的工藝,才能獲得常用的計算機芯片,研究團隊探索的是:如何以簡單的工藝,按需定制微器件??梢赃@么描述他們的制備方法:用“納米畫筆”在“畫布”上畫出微器件。這里的“納米畫筆”指的是納米尺度的針尖。“畫布”則是一種特殊的納米薄膜——鐵電薄膜。
“這層具有極性的鐵電薄膜就像一張納米厚度的神奇畫布,運用納米畫筆可以在畫布上任意作畫,畫作就是各類微器件,還可以反復擦寫畫布,這種方法給制備微器件提供了豐富的想象力。”王建祿如是說。
同時他也指出,這種制備方法適用于幾乎所有的半導體薄膜材料,但由于傳統(tǒng)材料的制備工藝已相對成熟,新方法更適合用于未來新型低維半導體材料的應用上。
據悉,這項研究由中國科學院上海技術物理研究所與復旦大學、華東師范大學、南京大學、中國科學院微電子所等多個課題組合作完成。(完)
責任編輯:葉攀
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